很多人不理解,就比如光刻技术课题组的。“院长让我们把最新的加速芯片重新设计成一个夸张的工艺。虽然我们在实验室已经达到了英特尔最先进的量产工艺,经过优化后就能投入工业使用。但是那个精度……有点天方夜谭了吧!”
“是啊是啊,这个工艺水平应该只能用传说中的EUV技术吧,DUV短时间内摸不到。最奇怪的是让我们设计的掩膜是基于84nm波长的光源,这就有点奇怪了。目前最先进的浸润式光刻机用的是192nm光源,过水后实际变成132nm。84nm?这就很奇怪了,这不在任何一个技术路线上。阿斯麦应该是跳过中间阶段,直接用13.4nm的euv。搞不懂……”
……
一个多月后,万事俱备。班行远特意空出来一天的时间,一大早就赶到了研究院。
这时候所有的课题组才第一次见面。惠安首先宣布了保密要求,也没说的太严肃,班行远在这里已经说明这个研究项目的非同小可。
当班行远把自己的想法说出来的时候,会议室立刻炸了锅。
“雾草,我怎么没想到还能这么做!这真是……”光刻技术的首席专家立刻就激动了。
“老张,注意下,尚书在呢。”老赵提醒说。
“太激动了。不过我们老板不会在意的。还等什么啊,开干吧!”
所有人换上防尘服进入了哪个极为尖端的实验室。